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      激光共聚焦掃描顯微鏡

      簡要描述:激光共聚焦掃描顯微鏡通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面擁有解決方案。

      • 產(chǎn)品型號:
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時間:2024-06-04
      • 訪  問  量:4641

      詳細介紹

      激光共聚焦掃描顯微鏡是一種準確、可靠的三維(3D)掃描系統(tǒng),通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

      Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):

      高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

      實時共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

      多種光學變焦                                                 雙Z掃描

      大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

      實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

      自動聚焦

      Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

      NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

      可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

      -半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

      - FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

      - MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

      -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

      -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

      Specification(激光共聚焦掃描顯微鏡規(guī)格):

      Model

      Microscope  NS-3500

      備注

       

      Controller    NS-3500E

      物鏡倍率

      10x

      20x

      50x

      100x

      150x

       

      觀察/  測量范圍

      水平 (H): μm

      1400

      700

      280

      140

      93

       

      垂直 (V): μm

      1050

      525

      210

      105

      70

       

      工作范圍: mm

      16.5

      3.1

      0.54

      0.3

      0.2

       

      數(shù)值孔徑(N.A.)

      0.30

      0.46

      0.80

      0.95

      0.95

       

      光學變焦

      x1 to x6

       

      總放大倍率

      178x to 26700x

       

      觀察/測量光學系統(tǒng)

      針孔共聚焦光學系統(tǒng)

       

      高度測量

      測量掃描

      長掃描 : 10 mm

       

      顯示分辨率

      0.001 μm

       

      重復(fù)率 σ

      0.010 μm

      注 1以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量。

      寬度測量

      顯示分辨率

      0.001 μm

       

      重復(fù)率 3σ

      0.02 μm

      注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進行100次測量

      幀記憶

      像素

      1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

       

      單色圖像

      12 bit

       

      彩色圖像

      8-bit for RGB each

       

      高度測量

      16 bit

       

      幀速率

      表面掃描

      20 Hz to 160 Hz

       

      線掃描

      ~8 kHz

       

      自動功能

      自動增益

       

      激光共焦測量光源

      波長

      405nm

       

      輸出

      ~2mW

       

      激光等級

      Class 3b

       

      激光接收元件

      PMT (光電倍增管)

       

      光學觀察光源

      10W LED

       

      光學觀察照相機

      成像元件

      1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

       

      記錄分辨率

      640x480

       

      自動調(diào)整

      增益, 快門速度, White balance

       

      數(shù)據(jù)處理單元

      PC

       

      電源

      電源電壓

      100 to 240 VAC, 50/60 Hz

       

      電流消耗

      500 VA max.

       

      重量

      顯微鏡

      Approx. ~200 kg

      (Measuring head unit : ~12 kg)

       

      控制器

      ~8 kg

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

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