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      熱反射式激光共聚焦顯微鏡

      簡(jiǎn)要描述:CTRM 700激光共聚焦顯微鏡是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司研發(fā)的一款熱反射式激光共聚焦顯微鏡,集熱成像與高速3D激光共聚焦顯微鏡于一體,可以在同時(shí)觀察樣品的熱成像與三維形貌。

      • 產(chǎn)品型號(hào):
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時(shí)間:2024-06-04
      • 訪  問(wèn)  量:5222

      詳細(xì)介紹

      CTRM700 是韓國(guó)?????所研發(fā)并由韓國(guó)Nanoscope Systems 進(jìn)行商業(yè)化運(yùn)營(yíng)的熱反射式激光共聚焦顯微鏡

      CTRM 700熱反射式激光共聚焦顯微鏡利用的是激光共聚焦掃描的方法測(cè)量樣品表面或內(nèi)部特定表面上溫度變化引起的反射率變化的分布來(lái)獲取樣品的熱分別圖像。

       

      Principles & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

      熱反射顯微鏡(Thermal Reflectance Microscope) 是一種基于測(cè)量樣品表面光反射率變化而測(cè)量樣品溫度變化的一種技術(shù)。

      共聚焦熱反射顯微技術(shù)是一種激光掃描共聚焦方法,它可以在局部區(qū)域獲得比傳統(tǒng)熱成像技術(shù)(紅外成像技術(shù))更高分辨率的熱成像圖像。

       

      Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

      半導(dǎo)體器件熱特性的測(cè)量與分析:

      -柔性顯示面板缺陷檢查

      -OLED內(nèi)部缺陷檢查

      -高輸出功率裝置發(fā)熱特性的測(cè)量與分析

      -傳感器單元的紅外圖像分析

      -氧化物薄膜晶體管的熱特性

      -3D堆疊半導(dǎo)體熱特性的測(cè)量分析

      -OLED 器件的熱特性分析

      -氣體傳感器的MEMS裝置的熱特性測(cè)量和分析

      -InGaZnO薄膜晶體管的發(fā)熱特性及可靠性分析

       

      Specification(規(guī)格)

      Model

      Microscope  CTRM 700

      物鏡倍率

      10x

      20x

      50x

      100x

      觀察/  測(cè)量范圍

      水平 (H): μm

      1400

      700

      280

      140

      垂直 (V): μm

      1050

      525

      210

      105

      工作范圍: mm

      16.5

      3.1

      0.54

      0.3

      數(shù)值孔徑(N.A.)

      0.30

      0.46

      0.80

      0.95

      光學(xué)變焦

      x1 to x6

      觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)

      針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

      測(cè)量高度

      7 mm

      分辨率

      橫向分辨率

      0.3 μm

      軸向分辨率

      0.8 μm

      熱分辨率

      1℃

       

      Image size

      共聚焦模式

      1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

      熱成像模式

      1024x768

       

      幀速率

      共聚焦模式

      10 Hz to 160 Hz

      熱成像模式

      0.3 Hz

       

       

      激光共焦測(cè)量光源

      波長(zhǎng)

      638 nm

      輸出

      ~2mW

      激光等級(jí)

      Class 3b

      光學(xué)顯微鏡光源

      LED

      10W

      光學(xué)觀察照相機(jī)

      成像元件

      1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

      記錄分辨率

      640x480

      數(shù)據(jù)處理單元

      PC

      電源

      電源電壓

      100 to 240 VAC, 50/60 Hz

      電流消耗

      500 VA max.

       

      重量

      顯微鏡

      Approx. ~50 kg

      (Measuring head unit : ~14 kg)

      控制器

      ~8 kg

       

       

       

       

       

       

       

       

       

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