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      NS3500 Solar 半導體晶圓質量檢測系統

      簡要描述:NS-3500 Solar 是一種可靠的半導體晶圓檢測系統。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有各種解決方案。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2024-06-04
      • 訪  問  量:2227

      詳細介紹

      NS3500 Solar 半導體晶圓質量檢測系統

      NS-3500 Solar 是一種可靠的半導體晶圓檢測系統。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,可以為半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

      Features & Benefits(性能及優勢):

      • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

      • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

      • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

        大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

      • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

      • 自動聚焦

      Application field(應用領域):

      NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

      可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

      -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

      - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

      - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

      -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

      -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析




      Specifications(規格):

      Model

      Microscope  NS-3500 Solar

      備注

      物鏡倍率

      10x

      20x

      50x

      100x


      觀察/  測量范圍  

      水平 (H): μm

      1400

      700

      280

      140


      垂直 (V): μm

      1050

      525

      210

      105


      工作范圍: mm

      16.5

      3.1

      0.54

      0.3


      數值孔徑(N.A.)

      0.30

      0.46

      0.80

      0.95


      光學變焦

      x1 to x6


      總放大倍率

      178x to 26700x


      觀察/測量光學系統  

      Pinhole共聚焦光學系統


      高度測量

      測量掃描范圍

      400 um

      注 1

      顯示分辨率

      0.001 μm


      重復率 σ

      0.010 μm

      注 2

      幀記憶

      像素

      1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


      單色圖像

      12 bit


      彩色圖像

      8-bit for RGB each


      高度測量

      16 bit


      幀速率

      表面掃描

      20 Hz to 160 Hz


      線掃描

      ~8 kHz


      激光共焦測量光源

      波長

      405nm


      輸出

      ~2mW


      激光等級

      Class 3b


      激光接收元件

      PMT (光電倍增管)


      光學觀察光源

      10W LED


      光學觀察照相機

      成像元件

      1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器


      記錄分辨率

      640x480


      自動調整

      增益, 快門速度, White balance


      數據處理單元

      PC


      電源

      電源電壓

      100 to 240 VAC, 50/60 Hz


      電流消耗

      500 VA max.


      重量

      顯微鏡

      Approx. ~50 kg

      (Measuring head unit : ~12 kg)


      控制器

      ~8 kg


      隔振系統

      氣浮光學平臺隔振系統

      Option

                 

      注1:精細掃描由壓電執行器(PZT)執行。

      注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量。        



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