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      IC半導(dǎo)體級 SIO2

      簡要描述:產(chǎn)品名稱:4英寸二氧化硅拋光硅片 (SiO2)
      生長方式:直拉單晶(CZ) 熱氧化工藝
      直徑與公差:100±0.4mm
      摻雜類型:N型(摻磷、砷、銻) P型(摻硼)
      晶向:<111><100>
      電阻率:0.001-50(Ω?cm) 可按客戶要求定制

      • 產(chǎn)品型號:SUNANO
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時間:2024-06-04
      • 訪  問  量:1577

      詳細介紹

      低維材料在線商城可為客戶訂制不同參數(shù)的二氧化硅氧化片,質(zhì)量優(yōu)良;氧化層厚度、致密性、均勻性和電阻率晶向等參數(shù)均按照國標(biāo)執(zhí)行。
      熱氧化物表面形成二氧化硅層。在氧化劑的存在下在升高的溫度下,給過程稱為熱氧化。通常生長熱氧化層的在水平管式爐中。溫度范圍控制在900到1200攝氏度,使用濕法或者干法的生長方法。熱氧化物是一種生長的氧化物層。相對于CVD法沉積的氧化物層,它具有較高的均勻性和更高的介電強度。這是一個*的作為絕緣體的介電層。大多數(shù)硅為基礎(chǔ)的設(shè)備中,熱氧化層都扮演著非常重要的角色,以安撫硅片表面。作為摻雜障礙和表面電介質(zhì)。
      應(yīng)用范圍:
      1,刻蝕率測定
      2,金屬打線測試
      3,金屬晶圓
      4,電性絕緣層

      產(chǎn)品名稱:4英寸二氧化硅拋光硅片 (SiO2)
      生長方式:直拉單晶(CZ)  熱氧化工藝
      直徑與公差:100±0.4mm
      摻雜類型:N型(摻磷、砷、銻) P型(摻硼)
      晶向:<111><100>
      電阻率:0.001-50(Ω•cm) 可按客戶要求定制
      工藝數(shù)據(jù):平整度TIR:<3μm 、 翹曲度TTV: <10μm 、彎曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、顆粒度< 10 (for size > 0.3μm)
      現(xiàn)有規(guī)格:50nm 100nm 200nm 300nm 500nm 1000nm 2000nm
      用途介紹:用于工藝等同步輻射樣品載體、PVD/CVD鍍膜做襯底、磁控濺射生長樣品、XRD、SEM、原子力、紅外光譜、熒光光譜等分析測試基底、分子束外延生長的基底、X射線分析晶體半導(dǎo)體
       

       

      類型1英寸2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸8英寸
      單面拋光片1英寸2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸8英寸
      雙面拋光片可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸8英寸
      二氧化硅片(SiO2)不可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸可定制
      切割片、研磨片可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸不可定制

      區(qū)熔本征高阻

      不摻雜硅片

      可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸不可定制
      單晶硅棒1英寸2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸不可定制

      注:本商城提供多系列多規(guī)格的硅片,標(biāo)價僅為一種規(guī)格,如需多種規(guī)格請與客服。

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      • QQ:494474517
      • 公司座機:86-021-56830191
      • 郵箱:yuanwenjun@sunano.com.cn

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