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      探針接觸式輪廓儀提供可重復(fù)、可靠和準(zhǔn)確的測(cè)量

      更新時(shí)間:2021-07-19      點(diǎn)擊次數(shù):1899
        探針接觸式輪廓儀系統(tǒng)采用掃描探針顯微鏡光學(xué)杠桿位移檢測(cè)技術(shù)和超平基準(zhǔn)面大樣品臺(tái)掃描技術(shù),與壓電陶瓷(PZT)掃描結(jié)合。在不損失精度的情況下,可以獲得超大樣本的整體三維輪廓,呈現(xiàn)局部三維形狀圖像。采用超高平整度光學(xué)拋光平臺(tái)掃描樣品臺(tái)參考平面,有效解決絲杠公差導(dǎo)致的測(cè)試結(jié)果亞微米誤差。
        1、探針接觸式輪廓儀與掃描探針顯微鏡的結(jié)合。
        2、雙模式操作(掃描和樣品臺(tái)掃描)即使在遠(yuǎn)距離測(cè)量中也可以獲得最佳的小區(qū)域3D映射。
        3、3D形貌測(cè)量在干涉級(jí)提供亞納米分辨率。
        4、在任何物鏡放大倍數(shù)下都保證亞納米垂直分辨率。
        5、多種物鏡可選,包括長(zhǎng)工作距離物鏡、玻璃校正物鏡、水鏡、油鏡等
        6、多環(huán)境測(cè)量,包括真空、大氣、液體、透光窗、溫濕度可控環(huán)境等。
        探針接觸式輪廓儀提供可重復(fù)、可靠和準(zhǔn)確的測(cè)量:從傳統(tǒng)的臺(tái)階高度測(cè)量和二維粗糙度的表面表征到先進(jìn)的三維形態(tài)和薄膜應(yīng)力分析,已被廣泛接受為測(cè)量薄膜厚度、應(yīng)力、表面粗糙度和形貌的黃金標(biāo)準(zhǔn),并已應(yīng)用于從學(xué)術(shù)研究到半導(dǎo)體過(guò)程控制的各個(gè)領(lǐng)域。
        探針輪廓儀使用在表面上移動(dòng)通過(guò)感測(cè)針的高度和波動(dòng)來(lái)確定表面輪廓。探針輪廓儀可以測(cè)量高達(dá)LMM的高度。該輪廓儀的工作原理類(lèi)似于留聲機(jī)。通常,被測(cè)表面在探頭下方移動(dòng),但探頭也可能在表面上移動(dòng)。探頭的垂直運(yùn)動(dòng)由線(xiàn)性變化的差動(dòng)變壓器(LVDT)測(cè)量,然后將測(cè)量信號(hào)轉(zhuǎn)換為高度數(shù)據(jù)。探頭由硬質(zhì)材料制成,例如金剛石。曲率半徑在0.05μm和50μm之間,這決定了儀器的橫向分辨率。
       

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